專業從事空氣凈化檢測儀器,凈化設備
提供無塵凈化環境系統整套解決方案
微粒的來源分為無機性微粒、有機性微粒、有生命微粒。對人體,易引起呼吸道和肺部的疾病,同時也會使人過敏,病毒感染;對硅芯片而言,微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路,使芯片失去運作功能,因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環節。
潔凈室環境控制的重要性在于確保生產過程中的環境條件符合特定的清潔度標準,這對于許多行業來說至關重要。以下是潔凈室環境控制的重要性和具體作用:
1.確保產品質量
1.1 防止污染:在半導體、制藥、醫療設備等行業,微小的顆粒污染物可能導致產品缺陷或失效。通過控制潔凈室內的空氣質量和微粒濃度,可以有效避免這些污染物對產品造成影響。
無塵室潔凈度的維持和控制,除了前期硬件設備投資外也需要良好的“軟件”——管理制度來搭配,方能維持良好的潔凈度。由上圖數據結果來看,作業人員對無塵室內潔凈度影響最大,作業人員進入無塵室時塵埃有顯著增加,有人員來回走動等動作時潔凈度馬上劣化,可見潔凈度劣化的主要原因是人為因素。
1.2 一致性:潔凈室環境有助于維持生產工藝的一致性和可重復性,從而保證產品質量穩定。就玻璃基板而言,微塵粒子之附著將造成玻璃基板的劃傷,短路和貼附氣泡等制程品質不良,而造成報廢。因此對污染源的控制已成為無塵室管理的重要環節。外部塵埃侵入及防止無塵室適當正壓保持(>0.5mm/Hg),做好前期施工工程保證不漏氣,人員、設備、原材料、治工具、耗材等攜入無塵室之前必須做好清潔擦拭等防塵動作。同時清潔工具需妥善放置及定時更換或清潔。無塵室內發塵及防止隔間板、地板等無塵室材料的適當選用,制程設備的發生控制即定期保養清潔,生產人員人在其位不得隨意走動或較大肢體動作,特殊站點采取增加粘塵墊等預防措施。
2. 提高生產效率
2.1減少廢品率:通過減少生產過程中的雜質和污染物,可以降低廢品率,提高成品率,從而提高生產效率。舉例來說:晶圓生產有600個步驟,如果每個程序的良率均為99%,請問經600個制程程序之整體良率為多少?答:0.99600 = 0.24%。為了使一程序在經濟考量上具有可行性的,試問每一步驟之良率需多高??0.999600= 54.8%?0.9999600=94.2%每個制程良率需要達到99.99%以上才能滿足最終制程良率大于90%,而微粒子的污染就會直接影響到制程良率。
2.2加速流程:在潔凈環境中工作可以減少不必要的清潔和返工時間,使得生產流程更加高效。
3. 保障人員健康與安全
3.1職業健康:對于一些可能釋放有害物質的生產過程,潔凈室可以防止有害物質擴散到外部環境,保護工作人員的健康。人類發展至今,技術進步、設備進步、知識水平提高,但空氣質量卻退步了。人一生約吸入27萬M3空氣,70%~90%時間在室內度過。微小顆粒被人體吸入,沉積于呼吸系統。5~30um的顆粒沉積于鼻咽部位,1~5um的顆粒沉積于氣管及支氣管,1um以下沉積于肺泡壁。長期處于新風量不足的室內易患“室內綜合癥”,出現頭痛、胸悶、易疲勞的癥狀,還容易引發呼吸系統和神經系統等疾病。我國國家標準GB/T18883-2002規定,新風量不應小于30m3/h.人。潔凈室的新風量應取以下兩項中的最大值:a.補償室內排氣量和保證室內正壓值所需空氣量之和。b.保證潔凈室工作人員所需的新鮮空氣。依據<潔凈廠房設計規范>每人每小時新風量不小于40m3。
3.2安全生產:通過控制濕度、溫度等環境參數,可以避免靜電放電等安全隱患,確保生產安全。
4. 滿足法規與標準要求
4.1行業標準:許多行業都有嚴格的潔凈度標準(如ISO 14644),必須在特定等級的潔凈室內進行生產。符合這些標準不僅是法規要求,也是企業競爭力的體現。針對于潔凈工作臺、潔凈棚、層流傳遞窗、風機濾網機組FFU、潔凈衣柜、層流罩、稱量罩、潔凈屏、自凈器、風淋系列產品,需要規范對現有產品潔凈度檢測的方法,提高產品的可信任度。
4.2認證與審核:通過第三方認證機構的審核,獲得相關認證(如GMP、ISO 9001等),增強客戶信任,擴大市場準入。
5. 促進技術創新
5.1研發支持:潔凈室為高科技產品研發提供了理想的實驗環境,有助于加快新產品的開發進程。
5.2工藝優化:在嚴格控制的環境下,更容易觀察和分析工藝變化對產品性能的影響,從而推動工藝改進。
6. 增強品牌形象
6.1品質保證:擁有高標準的潔凈生產設施,可以提升品牌形象,增加客戶對產品品質的信任。
6.2市場競爭力:能夠在潔凈環境中生產的產品通常被視為高質量和高可靠性的象征,有助于企業在激烈的市場競爭中脫穎而出。
7. 減少維修與維護成本
7.1延長設備壽命:在潔凈條件下運行的生產設備和工具不易受到腐蝕和磨損,從而延長使用壽命,減少維護頻率和成本。
7.2降低能耗:通過優化潔凈室的設計和管理,提高能源利用效率,減少能耗和運營成本。
無塵室運行管理四大原則:
1. 不可帶入:HEPA過濾器的骨架不能漏氣。室內必須維持設計之壓力。作業人員必須更衣,經過Air Shower后進入無塵室。所有使用材料、設備、工具必須清掃干凈后始可帶進。
2. 不產生:人員必須穿著無塵服。減少不必要之動作。不可使用容易發塵的材料。沒有必要的物品不可帶入。
3. 不能堆積:不能有不易清潔、清掃之角落及機器周邊。盡量減少外露在室內之風管、水管等。必須按照標準方法與規定時間實施清潔。
4. 立刻排除:增加換氣次數。在發塵部位附近排氣。改善氣流形狀以免塵埃附著于產品上。總之,潔凈室環境控制對于確保產品質量、提高生產效率、保障人員健康與安全、滿足法規要求、促進技術創新以及增強品牌形象等方面具有重要意義。企業在建設和維護潔凈室時應充分考慮這些因素,確保潔凈室能夠滿足生產和研發的需求。