無塵車間（潔凈室）等級說明

首先是等級定義的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復選。意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....)，一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... )，一般要看多幾個粒徑。

第二個技巧是規定無塵室的狀態，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。

第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵室都很干凈，微粒控制能力測試不易，這時可以干脆把驗收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時，依然有足夠的微粒控制能力。

1、 黃光車間多建在百級潔凈區，千級潔凈區也有涉及

2、半導體潔凈室（高架地板）常應用于百級和千級區域

3、 常規半導體潔凈室（潔凈區：萬級至十萬級）